氧氣廠微量危爆成分線上氣體分析儀開發完成

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氧氣廠微量危爆成分線上氣體分析儀開發完成

 

氧氣供應在煉鋼製程、半導體製程及液晶顯示器製程中扮演著重要角色,氧氣純度主導著各製程產品之良率高低及工業安全的風險。90年代國外相繼發生空氣分離設備爆炸傷亡事故,空氣分離設備的安全更引起了高度重視。


氧氣工場液氧製程目前之線上危爆氣體成份偵測仰賴GC-FID、NDIR等功能有限之舊型設備,分析能力不足,故開發危爆成份偵測儀器,線上分析氧氣工場液氧製程危爆氣體成份CO2、N2O、CH4、C2~C4,不純物成份Ar、Kr、N2,微量分析技術可達50ppb以下,提高並擴充分析儀應用性,以達成下列預期之目標。

 

  • 一次測定所有成分的新型分析偵測技術取代傳統三種分析偵測技術。
  •  精確偵測微量微爆成份,提高氧氣場工業安全。
  • 提升線上氣體分析儀技術開發自主性。
  • 提升未來國產線上氣體分析儀開發及模組化能力。

 

 2010-06-15