壹. 電子級特殊 (Multi Mix) 氣體分析儀功能規格  

• 可分析的單一氣體種類：三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)、一氧化二氮 (N2O)、 氯 氣(Cl2)、氨氣 (NH3)、矽甲烷(SiH4)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷(C3F8)、 各種混合氣等。
• 待測物成分及最低可偵測濃度(QDL)：H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2、N2O等 ；QDL為＜10ppb。
• 總碳氫化合物(THC)最低可偵測濃度(QDL)：＜10ppb。
• 待測物標準成份(5ppm)五重複分析的相對標準偏差(RSD)：1~2%。

  貳. 電子級特殊 (Multi Mix) 氣體分析儀硬體規格  

   A. 層析系統

• 電子流量控制(EPC)：精確度達0.001psi，為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格，可控制16個通道的流量或壓力。
• 分析成分滯留時間誤差：＜0.0008分鐘。
• 烘箱溫度操作範圍及精度：室溫＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
• 可配置3個偵測器。

   B. 偵測器及控制系統

     1. 脈衝式放電偵測器(PDHID)：

• 泛用型非破壞性氦氣光離子化偵測模式。
• 氦氣光子能量：13.5~17.7eV。
• 最小檢測量：low ppb，可分析非腐蝕性或腐蝕性氣體。
• 線性範圍：大於10⁵。

     2. 火焰離子化偵測器(FID)：

• 電子流量控制(EPC)：可控制氫氣、空氣、補充氣體等的流量。
• 最小檢測量：小於或等於1.8pg (10^-12g) 碳/秒，線性動態範圍: ≧10⁷。

     3. 熱導電度偵測器(TCD)：

• 電子流量控制(EPC)：可控制參考氣體、補充氣體等的流量。
• 最小檢測量：優於 400x10^-12g 碳氫化合物/毫升，線性動態範圍10⁵。
• 可程式設定訊號變化輸出時間。