特殊氣體分析儀

產品特性 :

熱門應用領域:
SiH4、NF3、NH3、SF6、CO2、C2F6、CF4、C3F8、mix gas


  壹. 電子級特殊 (Multi Mix) 氣體分析儀功能規格  

 

  • 可分析的單一氣體種類:三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)、一氧化二氮 (N2O)、 氯 氣(Cl2)、氨氣 (NH3)、矽甲烷(SiH4)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷(C3F8)、 各種混合氣等。
  • 待測物成分及最低可偵測濃度(QDL):H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2、N2O等 ;QDL為<10ppb。
  • 總碳氫化合物(THC)最低可偵測濃度(QDL):<10ppb。
  • 待測物標準成份(5ppm)五重複分析的相對標準偏差(RSD):1~2%。

 

  貳. 電子級特殊 (Multi Mix) 氣體分析儀硬體規格  

 

   A. 層析系統

 

  • 電子流量控制(EPC):精確度達0.001psi,為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格,可控制16個通道的流量或壓力。
  • 分析成分滯留時間誤差:<0.0008分鐘。
  • 烘箱溫度操作範圍及精度:室溫+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
  • 可配置3個偵測器。

 

   B. 偵測器及控制系統

 

     1. 脈衝式放電偵測器(PDHID):

  • 泛用型非破壞性氦氣光離子化偵測模式。
  • 氦氣光子能量:13.5~17.7eV。
  • 最小檢測量:low ppb,可分析非腐蝕性或腐蝕性氣體。
  • 線性範圍:大於105。

 

     2. 火焰離子化偵測器(FID):

  • 電子流量控制(EPC): 可控制氫氣、空氣、補充氣體等的流量。
  • 最小檢測量: 小於或等於1.8pg (10-12g) 碳/秒,線性動態範圍:≧107。

 

     3. 熱導電度偵測器(TCD):

  • 電子流量控制(EPC): 可控制參考氣體、補充氣體等的流量。
  • 最小檢測量:優於400x10-12g 碳氫化合物/毫升,線性動態範圍105。
  • 可程式設定訊號變化輸出時間。