三氟化氮NF3氣體分析儀

產品特性 :

熱門應用領域:
光電、半導體、太陽能、特殊氣體


  壹.三氟化氮 (NF3) 氣體分析儀功能規格  

 

  • 待測物成分及最低可偵測濃度(MDL):H2、 Ar+O2、N2、、CO、CO2、N2O、CF4、C2F6、SF6等; MDL 為10~30 ppb。
  • 待測物標準成份(5ppm)五重複分析的相對標準偏差(RSD):<3%。


  貳.三氟化氮 (NF3) 氣體分析儀硬體規格  

 


    A. 層析系統

 

  • 電子流量控制(EPC):精確度達0.001psi,為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格,可控制16個通道的流量或壓力。
  • 分析成分滯留時間誤差:<0.0008分鐘。
  • 烘箱溫度操作範圍及精度:室溫+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
  • 可配置3個偵測器。

 

    B. 偵測器及控制系統

 

      1. 脈衝式放電偵測器(PDHID):

  •  泛用型非破壞性氦氣光離子化偵測模式。
  •  氦氣光子能量:13.5~17.7eV。
  •  最小檢測量:low ppb,可分析非腐蝕性或腐蝕性氣體。
  •  線性範圍:大於105。