壹.氮氣/氧氣/氬氣 (N2/O2/Ar) 氣體分析儀功能規格  

• 具有線上取樣及自動purge功能，氣體樣品為4~32 streams。
• 可分析的氣體種類：氬氣(Ar)、氧氣(O2)、氮氣(N2) 三種。
• 待測物成分及最低可偵測濃度(MDL)：H2、 (Ar)、 (O2)、(N2)、CH4、CO、CO2等 ；MDL為10~30ppb。
• 待測物標準成份(5ppm)五重複分析的相對標準偏差(RSD)：<3%。
  
  

  貳.氮氣/氧氣/氬氣 (N2/O2/Ar) 氣體分析儀硬體規格  

    A. 層析系統

• 電子流量控制(EPC)：精確度達0.001psi，為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心  切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格，可控制16個通道的流量或壓力。
• 分析成分滯留時間誤差：＜0.0008分鐘。
• 烘箱溫度操作範圍及精度：室溫＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
• 可配置3個偵測器。

    B. 偵測器

     1. 脈衝式放電偵測器(PDHID)：

• 泛用型非破壞性氦氣光離子化偵測模式。
• 氦氣光子能量：13.5~17.7eV。
• 最小檢測量:low ppb，可分析非腐蝕性或腐蝕性氣體。
• 線性範圍：大於105。

     2. 火焰離子化偵測器(FID)：

• 電子流量控制(EPC): 可控制氫氣、空氣、補充氣體等的流量。
• 最小檢測量: 小於或等於1.8pg (10-12g) 碳/秒，線性動態範圍:≧107。
• 總碳氫化合物(THC)：最小檢測量＜0.01ppm。

    C. 控制系統

• 工業級電腦。
• 訊號輸出:4~20mA 或 0~1V。
• 可提供DCS各種通訊協定(protocols)。