熱門應用領域:
特氣、氣體工廠、光電、LED、半導體
電子級氨氣NH3氣體分析儀
產品特性 :
壹. 氨氣 (NH3) 氣體分析儀功能規格
- 可分析的氣體種類:氨氣(NH3)。
- 待測物成分及最低可偵測濃度(MDL):H2、N2、O2+Ar、CO2、CO≦10ppb;THC≦ 50ppb。
- 待測物五重複分析的相對標準偏差(RSD):Peak Height<3%、Peak Area<3%。
貳. 氨氣 (NH3) 氣體分析儀硬體規格
A. 層析系統
- 電子流量控制(EPC):精確度達0.001psi,為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心 切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格,可控制16個通道的流量或壓力。
- 分析成分滯留時間誤差:<0.008分鐘。
- 烘箱溫度操作範圍及精度:室溫+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
- 可配置2個偵測器。
B. 偵測器及控制系統
1. 脈衝式放電偵測器(PDHID):
- 泛用型非破壞性氦氣脈衝放電離子化偵測模式。
- 氦氣光子能量:13.5~17.7eV可調。
- 線性範圍:大於105。