電子級氨氣NH3氣體分析儀

產品特性 :

熱門應用領域:
特氣、氣體工廠、光電、LED、半導體


  壹.氨氣 (NH3) 氣體分析儀功能規格  

 

  • 可分析的氣體種類:氨氣(NH3)。
  • 待測物成分及最低可偵測濃度(MDL):H2、N2、O2+Ar、CO2、CO≦10ppb;THC≦ 50ppb。
  • 待測物五重複分析的相對標準偏差(RSD):Peak Height<3%、Peak Area<3%

 

  貳.氨氣 (NH3) 氣體分析儀硬體規格  

 

   A. 層析系統

 

  • 電子流量控制(EPC):精確度達0.001psi,為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心  切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格,可控制16個通道的流量或壓力。
  • 分析成分滯留時間誤差:<0.008分鐘。
  • 烘箱溫度操作範圍及精度:室溫+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
  • 可配置2個偵測器。

 

   B. 偵測器及控制系統

 

     1. 脈衝式放電偵測器(PDHID):

  • 泛用型非破壞性氦氣脈衝放電離子化偵測模式。
  • 氦氣光子能量:13.5~17.7eV可調。
  • 線性範圍:大於105。