壹.矽甲烷 (SiH4) 氣體分析儀功能規格  

•  待測物成分及最低可偵測濃度(MDL)：H2、 Ar+O2、N2、CH4、CO、CO2等 ；MDL為10~30 ppb。
•  待測物標準成份(5ppm)五重複分析的相對標準偏差(RSD)：＜3%。

  貳.矽甲烷 (SiH4) 氣體分析儀硬體規格  

    A. 層析系統

•  電子流量控制(EPC)：精確度達0.001psi，為載送氣體、偵測器流量、輔助氣體、逆吹氣體及核心切除氣壓平衡氣(heart cut)等的標準規格，可控制16個通道的流量或壓力。
•  分析成分滯留時間誤差：＜0.0008分鐘。
•  烘箱溫度操作範圍及精度：室溫＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
•  可配置3個偵測器。

   B. 偵測器及控制系統

      1. 脈衝式放電偵測器(PDHID)：

•  泛用型非破壞性氦氣光離子化偵測模式。
•  氦氣光子能量：13.5~17.7eV。
•  最小檢測量:low ppb，可分析非腐蝕性或腐蝕性氣體。
•  線性範圍：大於105。